1月21日消息(南山)日,英特爾宣布向荷蘭光刻機制造商ASML預訂了一臺仍在設計中的頂級EUV光刻機,為業界首家。這臺光刻機型號為High-NA量產型EUV光刻機EXE:5200,是業界最強的光刻機。

據悉,由于臺積電、三星、英特爾三大巨頭在晶圓制造領域的競爭,導致EUV光刻機需求大增。同時,這款瞄準下一代3nm/2nm級別工藝的High-NA量產型EUV光刻機,堪稱天價。

臺灣媒體消息稱,英特爾預定的這臺光刻機,價格達到3.4億美元,是歷史上最昂貴的光刻機。

前一代設備High-NA研發型EUV光刻機EXE: 5000,也達到了3億美元一臺。

作為對比,ASML當前商用出貨的高端EUV光刻機報價約為1.5億美元一臺。

2022年,臺積電、三星、英特爾均大幅提升資本開支,其中臺積電資本開支預計達到400億~440億美元。從核心設備光刻機的價格來看,不是沒有原因的。臺積電今年仍大舉采購EUV光刻機,也已經下單了High-NA研發型EUV光刻機EXE: 5000。

標簽: 英特爾預訂 仍在設計中 頂級EUV 光刻機